德國PI進口壓電陶瓷促動器

應用領域

一勞永逸型應用

自適應機械部件

漂移補償

光學部件的校準

精密機械部件

靜態精密定位

計量/干涉測量

如果精密機器內部兩個部件之間的目標或實際尺寸發生了改變，例如在半導體制造、測量應用或檢驗系統中，重新調整也許就有必要了。例如，當機器在客戶場地被啟動時，初始設定、漂移或公差變化需要在安裝后進行補償。精確研磨至所需尺寸的傳統墊片的缺點是它們需要進行機械插入。此外，不受限制的精調有時并不可能，且一旦尺寸確定下來，后續就很難再改。PI (Physik Instrumente)找到了這一問題的最佳解決方案，開發出了PI Rest壓電陶瓷“墊片”。當它們被安裝在機器中后，有源墊片不僅可以隨時重新調整兩個部件之間的間隙，還能達到納米級精度。重要工作參數存儲在機械部件的ID芯片上，電控啟動后可自動讀出。

P-131具有納米分辨率和長期穩定性的有源墊片

長期穩定性，無需連續電源

對位于無法接近的位置上的機器進行輕

松調整

避免耗時的手動調整過程

納米分辨率和微米位移

每個促動器的負載能力高達4000牛

溫度傳感器

德國PI (Physik Instrumente) P-611.1

P-611.1 線性壓電陶瓷定位系統

§ 緊湊型設計：表面為44×44毫米

§ 行程120微米

§ 分辨率達0.2納米

§ 其經濟實惠的系統（機械部件和控制 器）

§ PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽 命

§ 可提供Z向位移臺、XY、XZ和XYZ版本

PI (Physik Instrumente) 各系列型號如下

PI (Physik Instrumente) M-060.PD

PI (Physik Instrumente) C-844.4DC

PI (Physik Instrumente) E-503.00S

PI (Physik Instrumente) E-625.SR

PI (Physik Instrumente) P-611.1S  

PI (Physik Instrumente) E-727.3SDF

PI (Physik Instrumente) P-721.12Q

PI (Physik Instrumente) M-531.PD1

PI (Physik Instrumente) C-843.21

PI (Physik Instrumente) M-061.PD

PI (Physik Instrumente) M-060.PD

PI (Physik Instrumente) M-531.PD1

PI (Physik Instrumente) C-843.21

PI (Physik Instrumente)P-611.10 線性納米定位系統，120微米，不帶傳感器 

PI (Physik Instrumente)P-611.1S 線性納米定位系統，100微米，應變片傳感器

PI (Physik Instrumente)帶Sub-D連接器（公頭）的版本 

PI (Physik Instrumente)P-620.1CD 精密PIHera 線性納米定位系統，50微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器 

PI (Physik Instrumente)P-621.1CD 精密PIHera 線性納米定位系統，100微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器 

PI (Physik Instrumente)P-622.1CD 精密PIHera 線性納米定位系統，250微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器 

PI (Physik Instrumente)P-625.1CD 精密PIHera 線性納米定位系統，500微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器 

PI (Physik Instrumente)P-628.1CD 精密PIHera 線性納米定位系統，800微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器 

PI (Physik Instrumente)P-629.1CD 精密PIHera 線性納米定位系統，1500微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器 

PI (Physik Instrumente)帶LEMO連接器的版本 

PI (Physik Instrumente)P-620.1CL 精密PIHera 線性納米定位系統，50微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器 

PI (Physik Instrumente)P-621.1CL 精密PIHera 線性納米定位系統，100微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器 

PI (Physik Instrumente)P-622.1CL 精密PIHera 線性納米定位系統，250微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器 

PI (Physik Instrumente)P-625.1CL 精密PIHera 線性納米定位系統，500微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器 

PI (Physik Instrumente)P-628.1CL 精密PIHera 線性納米定位系統，800微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器 

PI (Physik Instrumente)P-629.1CL 精密PIHera 線性納米定位系統，1500微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器 

PI (Physik Instrumente)不帶位置傳感器的線性定位器 

PI (Physik Instrumente)P-620.10L 精密PIHera 線性納米定位系統，60微米，LEMO連接器，不帶傳感器 

PI (Physik Instrumente)P-621.10L 精密PIHera 線性納米定位系統，120微米，LEMO連接器，不帶傳感器 

PI (Physik Instrumente)P-622.10L 精密PIHera 線性納米定位系統，300微米，LEMO連接器，不帶傳感器 

PI (Physik Instrumente)P-625.10L 精密PIHera 線性納米定位系統，600微米，LEMO連接器，不帶傳感器 

PI (Physik Instrumente)P-628.10L 精密PIHera 線性納米定位系統，950微米，LEMO連接器，不帶傳感器 

PI (Physik Instrumente)P-629.10L 精密PIHera 線性納米定位系統，1800微米，LEMO連接器，不帶傳感器 線性定位器，真空兼容達10-9百帕 

PI (Physik Instrumente)P-620.1UD 精密PIHera 線性納米定位系統，50微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器，真空兼容至10-9百帕 

PI (Physik Instrumente)P-621.1UD 精密PIHera 線性納米定位系統，100微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器，真空兼容至10-9百帕 

PI (Physik Instrumente)P-622.1UD 精密PIHera 線性納米定位系統，250微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器，真空兼容至10-9百帕 

PI (Physik Instrumente)P-625.1UD 精密PIHera 線性納米定位系統，500微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器，真空兼容至10-9百帕 

PI (Physik Instrumente)P-628.1UD 精密PIHera 線性納米定位系統，800微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器，真空兼容至10-9百帕 

PI (Physik Instrumente)P-629.1UD 精密PIHera 線性納米定位系統，1500微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器，真空兼容至10-9百帕

PI (Physik Instrumente)P-630.XCD 帶孔徑的線性壓電陶瓷納米定位系統，40 微米，直接位置測量，電容傳感器 

PI (Physik Instrumente)P-631.XCD 帶孔徑的線性壓電陶瓷納米定位系統，80 微米，直接位置測量，電容傳感器

PI (Physik Instrumente)P-712.10L薄型OEM納米掃描儀，40μm，開環

PI (Physik Instrumente)P-712.1SL薄型OEM納米掃描儀，30μm，SGS傳感器

PI (Physik Instrumente) 

PI (Physik Instrumente)控制器/驅動器/放大器

PI (Physik Instrumente)E-610壓電放大器/控制器

PI (Physik Instrumente)E-625壓電伺服控制器和驅動器

PI (Physik Instrumente)飾品

PI (Physik Instrumente)P-895.3LDC適配器電纜，Sub-D 7W2（f）到LEMO連接器（m）

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PI (Physik Instrumente)P-752.11C 高動態壓電陶瓷納米定位系統，15微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器 

PI (Physik Instrumente)P-752.1CD 高動態壓電陶瓷納米定位系統，15微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器 

PI (Physik Instrumente)P-752.21C 高動態壓電陶瓷納米定位系統，30微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器 

PI (Physik Instrumente)P-752.2CD 高動態壓電陶瓷納米定位系統，30微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

PI (Physik Instrumente)帶Sub-D連接器（公頭）的版本 

PI (Physik Instrumente)P-753.1CD LISA高動態壓電陶瓷納米定位系統，12微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器 

PI (Physik Instrumente)P-753.2CD LISA高動態壓電陶瓷納米定位系統，25微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器 

PI (Physik Instrumente)P-753.3CD LISA高動態壓電陶瓷納米定位系統，38微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器 帶LEMO連接器的版本 

PI (Physik Instrumente)P-753.11C LISA高動態壓電陶瓷納米定位系統，12微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器 

PI (Physik Instrumente)P-753.21C LISA高動態壓電陶瓷納米定位系統，25微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器 

PI (Physik Instrumente)P-753.31C LISA高動態壓電陶瓷納米定位系統，38微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器 線性定位器，真空兼容達10-9百帕 

PI (Physik Instrumente)P-753.1UD LISA高動態壓電陶瓷納米定位系統，12微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器, 真空兼容至10-9百帕 

PI (Physik Instrumente)P-753.2UD LISA高動態壓電陶瓷納米定位系統，25微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器, 真空兼容至10-9百帕 

PI (Physik Instrumente)P-753.3UD LISA高動態壓電陶瓷納米定位系統，38微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器, 真空兼容至10-9百帕

德國PI進口壓電陶瓷促動器